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FMSXXY170Z-200-200 直線電機(jī)龍門雙驅(qū)平臺
高精度、高承載、定制靈活
菲克科技 FMSXXY170Z-200-200 直線電機(jī)龍門雙驅(qū)平臺專為需要高精度二維定位的實驗室和工業(yè)應(yīng)用而設(shè)計。該平臺采用一體化大理石臺面設(shè)計，搭載雙驅(qū)龍門結(jié)構(gòu)和高性能直線電機(jī)，實現(xiàn)了亞微米級的重復(fù)定位精度和更高的承載能力。FMSXXY170Z-200-200 平臺還預(yù)留了 Z 軸掛載接口，方便擴(kuò)展三維運動控制，并支持定制行程、精度和承載，滿足多樣化的應(yīng)用需求。
主要特點
一體化大理石臺面，精度穩(wěn)定可靠： 采用一體化大理石臺面設(shè)計，確保了平臺的基底精度和穩(wěn)定性，為高精度定位提供了堅實基礎(chǔ)。
X 軸龍門雙驅(qū)結(jié)構(gòu)，同步性更佳： X 軸采用龍門雙驅(qū)結(jié)構(gòu)，有效消除了 Abbe 誤差，保證了平臺運動的同步性和直線度，進(jìn)一步提升了定位精度。
Y 軸預(yù)留 Z 軸掛載接口，輕松擴(kuò)展三維運動： 可根據(jù)需求在 Y 軸上集成 Z 軸電動位移臺，輕松實現(xiàn)三維空間的精確定位和運動控制。
高分辨率直線電機(jī)，精細(xì)控制，響應(yīng)迅速： 采用高分辨率直線電機(jī)驅(qū)動，配合菲克科技高性能控制器，可實現(xiàn)微米級的精細(xì)定位，并具備快速響應(yīng)能力，滿足動態(tài)應(yīng)用需求。
行程、精度、承載均可定制，滿足個性化需求： 可根據(jù)客戶需求定制平臺行程、精度和承載能力，滿足不同應(yīng)用場景的個性化需求。
超靜音運行，打造舒適環(huán)境: 超靜音位移臺，適用于對噪音敏感的實驗室環(huán)境和高性能工業(yè)場所。
強(qiáng)大軟件支持，輕松操控: 免費標(biāo)準(zhǔn)版 SDK，支持 Window、Linux 環(huán)境下多種開發(fā)語言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等)，方便用戶進(jìn)行二次開發(fā)和系統(tǒng)集成。
高性能控制器，實現(xiàn)復(fù)雜運動: 控制器支持圓弧插補(bǔ)、直線插補(bǔ)、位置記憶和任意圖形導(dǎo)入，可滿足各種復(fù)雜運動控制需求。
靈活通訊，無縫連接: 可選配 EtherCAT 總線控制，實現(xiàn)高速、穩(wěn)定的數(shù)據(jù)傳輸。
產(chǎn)品應(yīng)用
點膠機(jī) Dispenser、顯微掃描 Microscan、機(jī)器視覺 Machine Vision、瑕疵檢測 Defect Detection、晶圓檢測 Wafer Inspection、生物三D打印 Bio 3D Printing
組合搭配
It can be ?exibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
性能實測
|
Model |
FMSXXY170Z-200-200 |
|
行程 Travel(mm) |
200(XY) |
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負(fù)載 Load Capacity(Kg)[1] |
30 |
|
分辨率 Resolution(μm) |
0.05 |
|
最小步進(jìn)量 Min.Incremental Motion(μm)[2] |
0.2 |
|
單向重復(fù)定位精度/保證值 Undirection Repeatability[3]/Guaranteed(μm)[4] |
±0.5 or 1 |
|
單向重復(fù)定位精度/典型值 Undirection Repeatability/Typical(μm) |
±0.3 or 0.6 |
|
雙向重復(fù)定位精度/保證值 Bi-Directional Repeatability/Guaranteed(μm) |
±1 or 2 |
|
雙向重復(fù)定位精度/典型值 Bi-Directional Repeatability/Typical(μm) |
±0.5 or 1 |
|
定位精度/保證值 Accuracy[3]/Guaranteed(μm) |
±2 or 4 |
|
定位精度/典型值 Accuracy/Typical(μm) |
±1 or 2 |
|
最大速度 Max.Speed(mm/s)[5] |
500 |
|
直線度 Straightness(μm) |
10 |
|
平整度 Flatness(μm) |
10 |
|
偏擺 Yaw(arcsec) |
10 |
|
俯仰 Pitch(arcsec) |
10 |
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重量 Weight(kg) |
52 |
※ 備注
[1]：水平放置下的中心垂直負(fù)載。
[2]：最小運動增量不等同于分辨率，最小運動增量是指運動系統(tǒng)在連續(xù)、穩(wěn)定情況下能夠移動的最小量。一般來說，系統(tǒng)分辨率遠(yuǎn)小于最小運動增量。考慮傳動結(jié)構(gòu)和編碼器對系統(tǒng)誤差的影響，直線電機(jī)位移臺與步進(jìn)電機(jī)位移臺相比，其最小運動增量更加接近于分辨率。
[3]：精度測量數(shù)據(jù)是平臺在水平放置的情況下使用激光干涉儀測量的數(shù)據(jù)，測量標(biāo)準(zhǔn)參照GB/T17421-2000。
[4]：典型值和保證值的區(qū)別見技術(shù)指南。
[5]：最大速度為典型值，根據(jù)負(fù)載和控制器的不同會有區(qū)別。
